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美國Dataray BeamMap2 多平面狹縫掃描光束分析儀

更新時間:2025-03-13

瀏覽量:574

品牌：美國Dataray
型號： BeamMap2
描述：DataRay 的 BeamMap2 代表了一種完全不同的實(shí)時波束輪廓分析方法。它擴(kuò)展了 Beam'R2 的測量功能，允許在光束行程的多個位置進(jìn)行測量。這種實(shí)時掃描狹縫系統(tǒng)在旋轉(zhuǎn)圓盤上的多個 Z 平面...
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產(chǎn)品介紹

BeamMap2 多平面狹縫掃描光束分析儀描述：

產(chǎn)品手冊  數(shù)據(jù)表  圖紙

DataRay 的 BeamMap2 代表了一種完全不同的實(shí)時波束輪廓分析方法。它擴(kuò)展了 Beam'R2 的測量功能，允許在光束行程的多個位置進(jìn)行測量。這種實(shí)時掃描狹縫系統(tǒng)在旋轉(zhuǎn)圓盤上的多個 Z 平面上使用 XY 狹縫對，同時測量四個不同 Z 位置的四個光束輪廓。BeamMap2 的獨(dú)特設(shè)計(jì)在實(shí)時測量焦點(diǎn)位置、M2、光束發(fā)散度和指向方面有利。

特點(diǎn)

多種檢測器選項(xiàng)，范圍為 190 至 2500 nm

190 至 1150 nm，硅探測器

650 至 1800 nm，InGaAs 探測器

1800 至 2300/2500 nm，InGaAs（擴(kuò)展）探測器

符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的光束直徑測量

端口供電的 USB 2.0

自動增益功能

用于符合 ISO 11146 標(biāo)準(zhǔn)的 M2 測量的可選載物臺附件

True2D? 狹縫

分辨率達(dá) 0.1 μm

5 Hz 更新速率（可調(diào) 2 至 10 Hz）

剖面 CW/準(zhǔn)連續(xù)波光束

光束直徑 5 μm 至 4 mm

XYZ 輪廓，加上 θ-Φ

對焦位置和直徑

實(shí)時 M2、指向和發(fā)散測量

以 ±1 μm 的重復(fù)精度識別焦點(diǎn)（取決于光束）

應(yīng)用實(shí)例

非常小的激光束輪廓

光學(xué)組件和儀器對準(zhǔn)

OEM 集成

鏡頭焦距測試

實(shí)時診斷對焦和對準(zhǔn)誤差

將多個裝配體實(shí)時設(shè)置為同一焦點(diǎn)

M2 測量，提供 M2DU 載物臺

True2D? 狹縫

藍(lán)寶石襯底上的 0.4 μm 厚金屬多層薄膜

與氣縫相比，具有多種優(yōu)勢

避免隧道效應(yīng)

氣縫通常比寬深，并且在高輻照度下會彎曲

規(guī)格

波長	硅探測器：190 至 1150 nm InGaAs 探測器：650 至 1800 nm Si + InGaAs 探測器：190 至 1800 nm Si + InGaAs（擴(kuò)展）探測器：190 至 2300 或 2500 nm
掃描光束直徑	硅探測器：5 μm 至 4 mm InGaAs 探測器：10 μm 至 3 mm InGaAs（擴(kuò)展）探測器：10 μm 至 2 mm
平面間距	100 微米：-100、0、+100、+400 微米 250 微米：-250、0、+250、+1000 微米 500 微米：-500、0、+500、+2000 微米 750 微米：-750、0、+750、+3000 微米
光束腰徑測量	第二力矩（4s）直徑符合 ISO 11146;擬合高斯 & TopHat 1/e2 （13.5%）寬度用戶可選擇峰值百分比
光束腰部位置測量	± X、Y 和 Z 軸中的 20 μm — 聯(lián)系 DataRay 獲取建議
測量源	CW，準(zhǔn)CW光束
分辨率精度	0.1 μm 或掃描范圍的 0.05%± <2% ± = 0.5 μm
M2 尺寸	1 至 > 20，± 5%
發(fā)散/準(zhǔn)直、指向	1 mrad best — 聯(lián)系 DataRay 獲取推薦
最大功率和輻照度	總功率 1 W & 0.5 mW/μm2
增益范圍	1'000：1 切換;4'096：1 ADC范圍
顯示的圖形	X-Y 位置和輪廓的縮放 x1 到 x16
更新速率	~5 Hz，可塵埃 2 至 10 Hz
通過/失敗顯示	屏幕上可選擇的通過/失敗顏色。QA和生產(chǎn)的理想選擇。
平均	用戶可選運(yùn)行平均值（1 至 8 個樣本）
統(tǒng)計(jì)學(xué)	最小值、最大值、平均值、較長時間的標(biāo)準(zhǔn)差對數(shù)數(shù)據(jù)
XY輪廓和質(zhì)心	光束漂移顯示和記錄
要求	Windows 10 64 位